[发明专利]一种金属网笼镀膜装夹装置无效
| 申请号： | 201410355880.4 | 申请日： | 2014-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN104164656A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 罗蓉平;董骐;孙广泰;权新福 | 申请（专利权）人： | 北京丹鹏表面技术研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100096 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属网笼镀膜装夹装置。属于真空镀膜设备技术领域，该装置由多个网笼或多组网笼并排组成一个成圆周分布的行星筒状装夹具，每个网笼形状为圆形筒状或多棱形筒状；每个网笼通过两端的支撑轴安装在水平转动的行星式转架机构或带有二次自转机构的水平转动的行星式转架机构上；每个网笼实现一次水平公转，一次水平自转或二次水平公转，二次水平自转；所述网笼的尺寸和形状与待镀膜工件的形状和尺寸相匹配，以保证工件在网笼中在重力的作用下自由翻滚，网笼的长度由镀膜机的镀膜区均匀段长度相匹配。本装置具有装卸工件方便操作，工件镀膜过程无损伤的特点，可用于大批量，中小尺寸工件的镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属网 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种金属网笼镀膜装夹装置，其特征是：该装置由多个网笼并排组成一个成圆周分布的行星筒状装夹具，每个网笼为两端带有支撑轴的细长型筒，每个网笼形状为圆形筒状或多棱形筒状；所述网笼的尺寸和形状与待镀膜工件的形状和尺寸相匹配，以保证工件在网笼中在重力的作用下自由翻滚，网笼的长度由镀膜机的镀膜区均匀段长度相匹配；每个网笼通过两端的支撑轴安装在水平转动的行星式转架机构上；每个网笼实现一次水平公转，一次水平自转。
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