[发明专利]一种金属网笼镀膜装夹装置

说明书

技术领域

本发明属于真空镀膜设备技术领域，特别涉及用于真空镀膜的一种金属网笼镀膜装夹装置。

背景技术

对于大批量小尺寸工件，在进行传统电镀时一般采用网笼滚镀方式。即避免单个工件的装卡，费时费力；又避免了工件上有漏镀的接触点，该方法应用广泛和成熟。对于真空镀膜也可采用相似的网笼滚镀方式。

但是，当被镀工件的尺寸相对较大，比如工件尺寸达到15mm以上，大量工件在网笼中移动和滚动，在重力的作用下高处的工件会滚落，和下面的工件频繁发生碰撞，会损伤工件脆弱的棱角和刃部，另外，不同尺寸的工件均用相同尺寸的网笼，较大尺寸的工件在大尺寸的网笼中更容易产生工件的磕碰损伤问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决中小尺寸工件做到全面无损伤镀膜的问题，设计的一种金属网笼镀膜装夹装置，具有装卸工件方便操作，工件镀膜过程无损伤的特点，可用于大批量，多种中小尺寸工件的镀膜。

本发明提出的一种金属网笼镀膜装夹装置，其特征是：该装置由多个网笼并排组成一个成圆周分布的行星筒状装夹具，每个网笼为两端带有支撑轴的细长型筒，每个网笼形状为圆形筒状或多棱形筒状；所述网笼的尺寸和形状与待镀膜工件的形状和尺寸相匹配，以保证工件在网笼中在重力的作用下自由翻滚，网笼的长度由镀膜机的镀膜区均匀段长度相匹配；每个网笼通过两端的支撑轴安装在水平转动的行星式转架机构上；每个网笼实现一次水平公转，一次水平自转。

本发明提出的另一种金属网笼镀膜装夹装置，其特征是：该装置由多组网笼组成一个成圆周分布的行星筒状装夹具，每组网笼由多个网笼排列组成一个圆周分布的行星状细长型筒，每个网笼形状为圆形筒状或多棱形筒状；所述网笼的尺寸和形状与待镀膜工件的形状和尺寸相匹配，以保证工件在网笼中在重力的作用下自由翻滚，网笼的长度由镀膜机的镀膜区均匀段长度相匹配；每个网笼通过两端的支撑轴安装在带有二次自转系统的水平转动的行星式转架机构上，实现二次水平公转，二次水平自转。

本发明的特点及有益效果：

本发明的技术方案改变传统的单一大网笼结构，由多个或多组网笼组成镀膜装夹装置；网笼形状可以是圆筒形或多棱形等多种形状；以适应多种尺寸工件的需要。且每个网笼上都带有开门，可使工件装卸方便，每个网笼开门配置锁止件实现网笼开门的可靠关闭；每个网笼通过两端的支撑轴安装在水平转动的转架机构上；依据行星式转架的转动特点，每个网笼可以实现一次水平公转，一次水平自转甚至二次水平公转，二次水平自转；当网笼转动时，由于网笼直径与工件相匹配，工件在重力垂直方向上自由空间小，不会发生快速跌落，不会损伤棱角和刃部；为达到工件在镀膜过程中得到更好的保护，在网笼中间还可以增加多块隔板，将网笼分割为多个独立的小网室；每个小网室内可以只装入一件或者少量几件待镀膜工件，避免相邻网室工件的相互碰撞，有效控制甚至避免单个小网室内工件之间的碰撞损伤。

在真空镀膜过程中，蒸发物(粒子)透过网笼的网孔镀制到工件表面上，丝网不会撞伤工件，且上面的大网孔可以使工件表面不被遮挡地镀上需要的膜层。只要经过足够长的镀膜时间，随着网笼的多次移动和滚动，所有工件的所有表面都会均匀地镀上膜层。

本装置在一台镀膜机上可以同时水平平行装载多个细长网笼。从而大大增加了单炉装载量，提高生产效率。所有网笼都会一次水平公转、一次水平自转或二次水平公转、二次水平自转，网笼之间互不接触、碰撞。经历相同的镀膜环境和条件。

附图说明

图1为本发明第一种金属网笼镀膜装夹装置实施例的立体示意图。

图2为本发明第一种实施例的一个网笼的结构示意图。

图3为图2中的支撑轴及中心连接轴的结构示意图。

图4为本发明第二种金属网笼镀膜装夹装置的实施例结构示意图。

图5为本发明第二种金属网笼镀膜装夹装置实施例的一组网笼的立体示意图。

图6为本发明第二种金属网笼镀膜装夹装置实施例的一个小网笼的结构图。

具体实施方式

本发明提出的一种新型的金属网笼镀膜装夹系统，结合附图及实施例进一步说明如下：