[发明专利]提高通孔OPC模型的适用面的方法

摘要

本发明提供一种提高通孔OPC模型的适用面的方法，包括：第一步，提供对称设计的一测试图形，测试图形上包括多个排成阵列的图形单元，每一图形单元代表实际晶圆上的一通孔；测试图形的中心为基准点，多个图形单元以基准点呈轴对称和中心对称；第二步，以基准点为轴心，旋转图形单元的位置至某一角度而图形单元本身不旋转，形成新的测试图形，或者将图形单元分为多个列，各列之间交错地向上或者向下移动某一距离，使移动后的某一列与旁边的另一列之间形成某一参差角度，形成新的测试图形。本发明突破了现有的通孔OPC模型覆盖能力的局限，使得其测试图形能够涵盖更多实际的复杂设计情形。

主权项

1.一种提高通孔OPC模型的适用面的方法，包括步骤：/n提供对称设计的一测试图形(400)，所述测试图形(400)上包括多个排成阵列的图形单元(401)，每一所述图形单元(401)代表实际晶圆上的一通孔；所述测试图形(400)的中心为基准点，多个所述图形单元(401)中的一个位于所述基准点上，其余所述图形单元(401)以所述基准点呈轴对称和中心对称；/n以所述基准点为轴心，旋转所述图形单元(401)的位置至某一角度而所述图形单元(401)本身不旋转，形成新的所述测试图形(400’)，所述新的测试图形中的图形单元为非对称。/n