[发明专利]多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法

摘要

一种用于光刻设备中的多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法，该装置包括：底座、N个可动镜片、运动控制主控模块、信号处理模块、驱动模块、光栅尺反馈模块、N个限位感应块及N个电机，其中N为3以上是正整数。本发明能实现多个可动镜片在各自运动轨迹范围内运动；能实现多个可动镜片准确、快速的回零，且在回零过程中不相撞。该发明既满足了尺寸结构紧凑、维护性强的要求，也满足了高精度的要求，具有通用性。

主权项

一种用于光刻设备中的多个可动镜片共用光栅尺的回零装置，其特征在于该装置包括：底座、N个可动镜片、运动控制主控模块(1)、信号处理模块(2)、驱动模块(3)、光栅尺反馈模块、N个限位感应块(71、72、73)及N个电机(81、82、83)，其中N为3以上是正整数； 所述的底座，包括N根丝杆(41、42、43)，用于承放N个可动镜片(51、52、53)、光栅尺反馈模块及N个电机(81、82、83)； 所述的光栅尺反馈模块由1个光栅尺(61)、N个光栅尺读数头(6201、6202、6203)组成，N个光栅尺读数头与N个可动镜片联动，分别用于N个可动镜片位移的检测，设定光栅尺(61)的零位(63)位于光栅尺的中间位置；所述的运动控制主控模块(1)经所述的信号处理模块(2)、驱动模块(3)与N个电机(81、82、83)相连，在所述的运动控制主控模块(1)的指令下，所述的驱动模块(3)驱动电机(81)驱动相应的丝杆(41)带动相应的可动镜片(51)运动，所述的相应的光栅尺读数头(6201)记录所述的可动镜片(51)在光栅尺(61)的位置并输入所述的信号处理模块(2)。