[发明专利]多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法

权利要求书

1.一种用于光刻设备中的多个可动镜片共用光栅尺的回零装置，其特征在于该装置包括：底座、N个可动镜片、运动控制主控模块(1)、信号处理模块(2)、驱动模块(3)、光栅尺反馈模块、N个限位感应块(71、72、73)及N个电机(81、82、83)，其中N为3以上是正整数； 

所述的底座，包括N根丝杆(41、42、43)，用于承放N个可动镜片(51、52、53)、光栅尺反馈模块及N个电机(81、82、83)； 

所述的光栅尺反馈模块由1个光栅尺(61)、N个光栅尺读数头(6201、6202、6203)组成，N个光栅尺读数头与N个可动镜片联动，分别用于N个可动镜片位移的检测，设定光栅尺(61)的零位(63)位于光栅尺的中间位置；所述的运动控制主控模块(1)经所述的信号处理模块(2)、驱动模块(3)与N个电机(81、82、83)相连，在所述的运动控制主控模块(1)的指令下，所述的驱动模块(3)驱动电机(81)驱动相应的丝杆(41)带动相应的可动镜片(51)运动，所述的相应的光栅尺读数头(6201)记录所述的可动镜片(51)在光栅尺(61)的位置并输入所述的信号处理模块(2)。 

2.一种利用上述回零装置的回零运动控制方法，其特征在于该方法包括如下步骤： 

1)确定N个可动镜片(51、52、53)的初始位置(71、72、73)和相对零位(L1，L2，L3)： 

所述的N个可动镜片(51、52、53)的初始位置(71、72、73)由相应的硬件限位感应块(71、72、73)的位置确定，所述的N个可动镜片(51、52、53)的相对零位(L1，L2，L3)由事先设定的偏离光栅尺(61)的零位(63)的位置， 

2)运动控制主控模块有序地发出限位信号，所述的驱动模块通过第1电机(81)驱动第1丝杆(41)带动第1可动镜片(51)，当第1可动镜片(51)到达第1限位感应块(71)位置时，第1可动镜片(51)到达初始位置；通过第2电机(82)驱动第2丝杆(42)带动第2可动镜片(52)，当第2可动镜片(52)到达第2限位感应块(72)的位置时，第2可动镜片(51)到达初始位置；……，第N电机(83)驱动第N丝杆(42)带动第N可动镜片(52)，当第N可动镜片(53)到达第N限位感应块(73)的位置时，第N可动镜片(53)到达初始位置第N可动镜片(53) 到达初始位置； 

3)运动控制主控模块有序地发出回零信号，所述的驱动模块通过第N电机(83)驱动第N丝杆(43)带动第N可动镜片(53)，第N可动镜片(53)寻找到光栅尺(61)零位(63)后并到达第N可动镜片(53)的相对零位(L3)；……，所述的驱动模块通过第2电机(82)驱动第2丝杆(42)带动第2可动镜片(52)，当第2可动镜片(52)到达第2可动镜片(52)的相对零位(L2)；所述的驱动模块通过第1电机(81)驱动第1丝杆(41)带动第1可动镜片(51)，当第1可动镜片(51)到达第1可动镜片(51)的相对零位(L1)； 

4)至此所有多个可动镜片均到达各自的零位，各可动镜片的回零运动结束。