[发明专利]用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法有效
| 申请号： | 201410345343.1 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104226637A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 卢启鹏;宋源;彭忠琦;龚学鹏;王依 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，属于清洗光学元件表面污染的技术领域。解决现有的氢原子收集方法收集率低的问题。该装置包括：氢原子发生器、石英椭球镜收集腔、加热带和样品夹，所述的氢原子发生器与石英椭球镜收集腔的一端连接，且氢原子发生器的出气口设置于石英椭球镜收集腔的一个焦点处，样品夹设置在样品夹支架上，样品夹支架与石英椭球镜收集腔的另一端连接，且样品夹中心位置设置于石英椭球镜收集腔的另外一个焦点处，所述的加热带设置在石英椭球镜收集腔的外表面。本发明还提供基于上述装置清洗受污染光学元件的方法，该方法氢原子收集效率高、清洗速率快。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 污染 光学 元件 氢原子 收集 装置 方法 | ||
【主权项】：
用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，其特征在于，该装置包括：氢原子发生器(1)、石英椭球镜收集腔(2)、加热带(3)和样品夹(4)，所述的氢原子发生器(1)与石英椭球镜收集腔(2)的一端连接，且氢原子发生器(1)的出气口设置于石英椭球镜收集腔(2)的一个焦点处，样品夹(4)中心位置设置于石英椭球镜收集腔(2)的另外一个焦点处，所述的加热带(3)设置在石英椭球镜收集腔(2)的外表面。
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