[发明专利]感应耦合等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种即使具有分割型的金属窗也能够在处理室的内部生成均匀的等离子体的感应耦合等离子体处理装置。该感应耦合等离子体处理装置包括主体容器(1)；和具有导电性的矩形形状的金属窗(2)，其将主体容器划分为收纳被处理体(G)并对所收纳的被处理体实施感应耦合等离子体处理的处理室(4)；和收纳用于在处理室内生成感应耦合等离子体的高频天线(11)的天线室(3)，高频天线设置成在天线室的内部在与矩形形状的金属窗对应的面内回转走线，矩形形状的金属窗被分割为相互电绝缘的多个分割片(2a～2d)，分割片各自由悬挂部件(8)从天线室的顶板部(3b)吊下，而不架设在其它的部件上。

主权项

一种感应耦合等离子体处理装置，其对矩形形状的被处理体实施感应耦合等离子体处理，所述感应耦合等离子体处理装置的特征在于，包括：主体容器；和具有导电性的矩形形状的金属窗，其将所述主体容器划分为：收纳所述被处理体并对所收纳的所述被处理体实施感应耦合等离子体处理的处理室；和收纳用于在所述处理室内生成感应耦合等离子体的高频天线的天线室，所述高频天线设置成在所述天线室的内部在与所述矩形形状的金属窗对应的面内回转走线，所述矩形形状的金属窗被分割为相互电绝缘的多个分割片，所述分割片各自由悬挂部件从所述天线室的顶板部吊下，而不架设在其它部件上，在多个所述分割片之间，不设置具有导电性的金属梁，分别仅插设使所述分割片彼此绝缘的绝缘部件。