[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201410334765.9 | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN104421171B | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 筒井慎吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/02;F04D29/00;F04D29/66;F04D29/32 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涡轮分子泵，所述涡轮分子泵防止含有铁、铬的零件因处理气体而腐蚀，且不使含有铁、铬的金属粒子倒流到真空室。本发明对气体接触部实施镀镍，所述气体接触部即比从真空排气上游侧数起第一段的转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧的处理气体所接触的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：外壳，具有进气口及凸缘；转子组装体，收容在所述外壳内，具有轴及转子，所述转子由多个转子叶片形成，所述多个转子叶片利用紧固用螺栓与所述轴形成为一体；定子叶片，收容在所述外壳内，与所述转子叶片对向地配设；以及间隔物，沿着所述外壳内的周面积层，且固定所述定子叶片；并且所述涡轮分子泵在由包含铁、铬的合金制作而成且设置在比真空排气上游侧第一段的所述转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧的零件的气体接触部实施有耐蚀性处理，并且在由包含铁、铬的合金制作而成且设置在比真空排气上游侧第一段的所述转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气下游侧的零件未实施有耐蚀性处理。
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