[发明专利]静电卡盘静电吸附力的测量装置有效
| 申请号： | 201410324581.4 | 申请日： | 2014-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104062040A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 徐登峰;许岩;唐娜娜;张旭光;朱煜;穆海华;程嘉;王珂晟 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京恩赫律师事务所 11469 | 代理人： | 赵文成 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电卡盘静电吸附力的测量装置，属于半导体行业设备检测技术领域，所述测量装置包括真空腔室和与所述真空腔室连接的真空获取装置，所述真空腔室内设置有静电卡盘基座，所述静电卡盘基座上设置有静电卡盘，所述真空腔室内在所述静电卡盘的下方设置有至少一个测量系统，所述测量系统包括传感器基座、压力传感器和支撑件，其中所述传感器基座固定在所述真空腔室的底部，所述压力传感器安装在所述传感器基座上，所述支撑件的下端与所述压力传感器相连接，所述支撑件的上端适于支撑晶片。本发明的测量系统位于静电卡盘的下方，大大提高了测量精度，不需要动力系统，易于保证真空腔室的密封性。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 吸附力 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种静电卡盘静电吸附力的测量装置，包括真空腔室和与所述真空腔室连接的真空获取装置，所述真空腔室内设置有静电卡盘基座，所述静电卡盘基座上设置有静电卡盘，其特征在于，所述真空腔室内在所述静电卡盘的下方设置有至少一个测量系统，所述测量系统包括传感器基座、压力传感器和支撑件，其中：所述传感器基座固定在所述真空腔室的底部，所述压力传感器安装在所述传感器基座上，所述支撑件的下端与所述压力传感器相连接，所述支撑件的上端适于支撑晶片。
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