[发明专利]一种靶材级高纯钽粉的制备方法

摘要

本发明涉及一种靶材级高纯钽粉的制备方法，该工艺采用将钠还原氟钽酸钾制得的钽粉与NaCl、KCl和KF中的一种或任意几种稀释盐的混合块状物料用纯水滤洗，当滤洗液的电导率小于5000us/cm时，将滤洗后的物料倒入卧式球磨机进行湿式球磨，之后取出物料进行酸洗、抽滤和烘干得到钽粉原粉，再将钽粉原粉经过热处理、降氧处理、降氧酸洗、再次烘干和检测得到靶材级高纯钽粉。本发明工艺简单，生产成本低，由该方法制备的钽粉松装密度大，纯度高，氧含量低，满足了靶材对材料纯度及致密度的要求，进而大大降低了钽及钽合金靶材成本。

主权项

1.一种靶材级高纯钽粉的制备方法，其特征在于其工艺步骤为：首先将钠还原氟钽酸钾制得的钽粉与稀释盐的混合块状物料用纯水滤洗，当滤洗液的电导率小于5000us/cm时，将滤洗后的物料倒入卧式球磨机进行湿式球磨，之后取出物料进行酸洗、抽滤和烘干得到钽粉原粉，再将钽粉原粉经过热处理、降氧处理、降氧酸洗、再次烘干和检测得到靶材级高纯钽粉；上述稀释盐是指的NaCl、KCl和KF中的一种或任意几种；所述热处理是指首先在800～1000℃温度条件下处理0.5～3h，然后缓慢升温至1400～1550℃继续处理0.5～3h，升温速率10～20℃/min；所述降氧处理是采用镁降氧，热处理后的钽粉中掺镁0.5～3%，然后抽空充氩，升温至850℃～1000℃，保温进行还原1～3小时，抽空排镁1～3小时；所述降氧酸洗是指采用质量浓度为5～15%的HNO₃和0.2～2%HF的混合酸液进行酸洗2～4h后静置，然后再浸泡1‑3h。