[发明专利]一种微阀及利用该微阀控制微流体输运的方法

摘要

本发明公开了一种微阀及利用该微阀控制微流体输运的方法，该微阀包括压电基片，压电基片的工作表面上设置有叉指换能器，且位于叉指换能器激发的声表面波的声传输路径上设置有第一PDMS微槽，第一PDMS微槽的顶端开口上覆盖有导热金属片，导热金属片的上表面上设置有第二PDMS微槽，第二PDMS微槽的顶端开口上连接有PDMS软薄片，第二PDMS微槽的顶端上连接有PDMS聚合体，PDMS聚合体中软光刻有两条微通道，PDMS聚合体的底端与PDMS软薄片位置相对应处开设有与微通道连通的缺口，且缺口的边缘与PDMS软薄片密封连接；优点是无需气泵等体积较大的控制设备，利用声表面波就可实现微阀的开启与关闭，不仅使得微阀的结构简单、体积小，易集成于微流器件中，且响应速度快。

主权项

一种微阀，其特征在于包括压电基片，所述的压电基片的上表面为工作表面，所述的压电基片的工作表面上设置有用于激发声表面波的叉指换能器，所述的压电基片的工作表面上且位于所述的叉指换能器激发的声表面波的声传输路径上设置有用于装满石蜡油且两端开口的第一PDMS微槽，所述的第一PDMS微槽的底端开口的边缘密封连接于所述的压电基片的工作表面上，所述的第一PDMS微槽的顶端开口上覆盖有导热金属片，所述的导热金属片的上表面上设置有用于装满固体石蜡且两端开口的第二PDMS微槽，所述的第二PDMS微槽的底端开口的边缘与所述的导热金属片的上表面密封连接，所述的第二PDMS微槽内装满固体石蜡后所述的第二PDMS微槽的顶端开口上密封连接有PDMS软薄片，所述的第二PDMS微槽的顶端上连接有PDMS聚合体，所述的PDMS聚合体中软光刻有两条用于输运微流体的微通道，所述的PDMS聚合体的底端与所述的PDMS软薄片位置相对应处开设有缺口，且所述的缺口的边缘与所述的PDMS软薄片密封连接，两条所述的微通道的底部通道口均与所述的缺口相连通，所述的PDMS软薄片在发生向上形变后覆盖所述的微通道的底部通道口。