[发明专利]光学元件平面柔性微动调整装置在审

专利信息
申请号: 201410311666.9 申请日: 2014-07-01
公开(公告)号: CN104049332A 公开(公告)日: 2014-09-17
发明(设计)人: 赵磊;张德福;杨怀江;隋永新;张巍;李显凌;倪明阳;郭抗 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G02B7/02 分类号: G02B7/02;G03F7/20
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 南小平
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 光学元件平面柔性微动调整装置属于光学系统精密微动调整与系统像差补偿领域,目的在于解决现有技术存在的由于温度梯度导致光学元件产生平面内的刚体平动,影响系统的成像质量的问题。本发明的调整装置包括镜框、三个驱动器、三个位移传感器和三个预紧弹片;镜框为镜框外环、镜框内环、三个折叠弹片和多个辅助支撑L型弹片组成的一体式结构,镜框外环和镜框内环之间通过三个折叠弹片和多个辅助支撑L型弹片进行连接,三个折叠弹片沿圆周均布在镜框上;三个预紧弹片一侧固定在镜框外环上,另一侧分别作用在三个折叠弹片上;三个驱动器安装在镜框外环上,三个驱动器的输入位移分别作用在三个折叠弹片上;三个位移传感器沿圆周均布在镜框外环上。
搜索关键词: 光学 元件 平面 柔性 微动 调整 装置
【主权项】:
光学元件平面柔性微动调整装置,包括镜框(2),其特征在于,还包括三个驱动器(3)、三个位移传感器(4)和三个预紧弹片(5);所述镜框(2)为镜框外环(202)、镜框内环(201)、三个折叠弹片(203)和多个辅助支撑L型弹片(204)组成的一体式结构,所述镜框外环(202)和镜框内环(201)之间通过三个折叠弹片(203)和多个辅助支撑L型弹片(204)进行连接,所述三个折叠弹片(203)沿圆周均布在镜框(2)上;所述三个预紧弹片(5)一侧固定在所述镜框外环(202)上,另一侧分别作用在所述三个折叠弹片(203)上;所述三个驱动器(3)安装在镜框外环(202)上,三个驱动器(3)的输入位移分别作用在所述三个折叠弹片(203)上,所述三个位移传感器(4)沿圆周均布在镜框外环(202)上。
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