[发明专利]一种用于EDM的管理方法及系统

摘要

本发明公开一种用于EDM的管理方法，包括：当机台发生异常时，通过BS系统根据机台上记载的原始制程状况信息，对原始批次晶圆进行分组，并将分组数据发送至MES系统；MES系统将接收到的分组数据转换为分批批次晶圆数据；EAP系统调取并根据分批批次晶圆数据对原始晶圆批次进行分批后，转运至正常机台上进行相应的制造工艺；于制造工艺完成后，MES系统将所述分批批次晶圆数据合并为原始批次晶圆数据，EAP系统根据合并后的原始批次晶圆数据将分批后的晶圆合并为原始批次晶圆。本发明还公开了一种EDM管理系统，通过整个方法和系统完全实现自动化分批与合并晶圆，从而减少因人工操作而带来的晶圆报废。

主权项

1.一种用于设备停机管理的管理方法，其特征在于，应用于正在执行原始批次晶圆制造工艺的机台上，所述方法包括：S1：当所述机台发生异常时，通过分组系统根据所述机台上记载的原始制程状况信息，对所述原始批次晶圆进行分组，并将分组数据发送至生产执行系统；S2：所述生产执行系统将接收到的所述分组数据转换为分批批次晶圆数据；S3：设备自动化方案系统调取并根据所述分批批次晶圆数据对所述原始批次晶圆进行分批后，转运至正常机台上进行相应的制造工艺；S4：于所述制造工艺完成后，所述生产执行系统将所述分批批次晶圆数据合并为所述原始批次晶圆数据，所述设备自动化方案系统根据合并后的所述原始批次晶圆数据将分批后的晶圆合并为原始批次晶圆。