[发明专利]直线电机系统及其控制方法、应用该直线电机系统的光刻机在审
| 申请号： | 201410308167.4 | 申请日： | 2014-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN104124852A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 郑春滨 | 申请（专利权）人： | 上海福讯光电有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;H02K11/00;H02P25/06 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽;黄燕石 |
| 地址： | 201108 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及新兴机械加工技术领域，公开了一种直线电机系统，包括直线电机和伺服控制器，所述伺服控制器包括控制输入、主控制器、从控制器和两个伺服器。还公开了应用上述直线电机系统的光刻机以及直线电机系统的控制方法。本发明的伺服控制器实时监控直线电机的运行，伺服控制器响应速度快，控制频率宽，控制随意度好。 | ||
| 搜索关键词： | 直线 电机 系统 及其 控制 方法 应用 光刻 | ||
【主权项】：
一种直线电机系统，包括直线电机，其特征在于：还包括伺服控制器，所述伺服控制器包括控制输入、主控制器、从控制器和两个伺服器，所述控制输入将同步数据发送至所述主控制器，所述主控制器对所述同步数据进行处理并得到直线电机的X轴和Y轴坐标，所述主控制器将所述直线电机的X轴和Y轴坐标传送至所述从控制器，所述从控制器控制所述两个伺服器使所述直线电机的X轴和Y轴同步运动。
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