[发明专利]射频模块的形成方法有效
申请号: | 201410302997.6 | 申请日: | 2014-06-27 |
公开(公告)号: | CN104064524B | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 石磊 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 应战,骆苏华 |
地址: | 226006 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种射频模块的形成方法,包括提供包括若干芯片区域和切割道区域的载板;提供射频集成芯片,将射频集成芯片贴合在载板的芯片区域上,每个射频集成芯片包括第一焊盘和第二焊盘;形成覆盖射频集成芯片和载板表面的第一塑封层,第一塑封层中具有与第一焊盘电连接的第一金属柱,以及与第二焊盘电连接的第二金属柱,第一塑封层暴露出第一金属柱与第二金属柱;在第一塑封层上形成射频识别天线,射频识别天线包括第一端和第二端,射频识别天线从第一端向第二端延伸,第一端与第一金属柱电连接,第二端与第二金属柱电连接;沿切割道区域切割第一塑封层和载板,形成若干分立的射频模块。本发明的方法减小射频模块占据的面积,提高射频模块的制作效率。 | ||
搜索关键词: | 射频 模块 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种用于RFID系统的射频模块的形成方法,其特征在于,包括:提供载板,所述载板包括若干芯片区域和位于芯片区域之间的切割道区域;提供射频集成芯片,将射频集成芯片贴合在载板的芯片区域上,每个射频集成芯片包括第一焊盘和第二焊盘,第一焊盘和第二焊盘与射频集成芯片的内部电路电连接;形成覆盖所述射频集成芯片和载板表面的第一塑封层,所述第一塑封层中具有与第一焊盘电连接的第一金属柱,以及与第二焊盘电连接的第二金属柱,第一塑封层暴露出第一金属柱与第二金属柱的顶部表面;在所述第一塑封层上形成射频识别天线,所述射频识别天线包括第一端和第二端,射频识别天线从第一端向第二端延伸,第一端与第一金属柱电连接,第二端与第二金属柱电连接;沿切割道区域切割所述第一塑封层和载板,形成若干分立的射频模块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造