[发明专利]钛酸锶钡介质薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种钛酸锶钡介质薄膜的制备方法：将配置好的钡-锶-柠檬酸-乙二醇溶液加入到钛-柠檬酸-乙二醇水溶液中，得到钛酸锶钡前驱体溶胶，再将该前躯体溶胶均匀涂覆在基底上，得到多层薄膜，再予以干燥，于550～750℃热处理；并重复涂覆和热处理，直至薄膜厚度为300nm；最后再经550～750℃热处理后，制得钛酸锶钡介质薄膜。本发明以碳酸钡、碳酸锶及二氧化钛作为原料，替代了现有技术的部份醇盐及钛酸四丁酯，降低了生产成本，制得到的薄膜性能优异，过程简单，是一种Sol-Gel法制备钛酸锶钡介质薄膜的新工艺，具有广阔的应用前景。

主权项

一种钛酸锶钡介质薄膜的制备方法，具有如下步骤：(1)配制钛‑柠檬酸‑乙二醇溶液①根据钛酸锶钡的化学计量比称取二氧化钛粉体，将二氧化钛放入氢氟酸中，水浴加热至其全部溶解；②向步骤①的溶液中加入氨水，中和反应生成偏钛酸沉淀；③抽滤、洗涤步骤②所得偏钛酸沉淀，然后将偏钛酸加入硝酸中，磁力搅拌至沉淀完全溶解，得到硝酸钛溶液；其中偏钛酸与硝酸的摩尔比为1:2；④向步骤③所得硝酸钛溶液中加入柠檬酸，磁力搅拌使柠檬酸完全溶解；再向溶液中加入乙二醇溶液，加热磁力搅拌2h使溶液混合均匀，其中硝酸钛、柠檬酸与乙二醇之间的摩尔比为1:4:4；⑤将步骤④所得溶液静置24h，使反应进行完全，得到钛‑柠檬酸‑乙二醇的硝酸水溶液；溶液经60℃磁力搅拌加热4h，得到稳定的钛‑柠檬酸‑乙二醇水溶液；(2)配制钡‑锶‑柠檬酸‑乙二醇溶液①按照摩尔比例1：4制备柠檬酸‑乙二醇溶液②根据钛酸锶钡的化学计量比称取钛酸钡、钛酸锶，将其加入上述柠檬酸‑乙二醇溶液中，磁力搅拌加热至粉体全部溶解，得到稳定的钡‑锶‑柠檬酸‑乙二醇溶液；(3)将步骤(2)配置的钡‑锶‑柠檬酸‑乙二醇溶液加入步骤(1)配置钛‑柠檬酸‑乙二醇水溶液中，搅拌均匀得钛酸锶钡前驱体溶胶；(4)向步骤(3)制得钛酸锶钡溶胶中加入甲醇做稀释剂，加热搅拌，得到所以需要的钛酸锶钡前驱体溶胶；(5)将步骤(4)配置的前躯体溶胶滴在基底上，用台式匀胶机匀胶，使溶胶均匀地涂覆在基底上，制得多层薄膜，然后于热板上干燥；(6)将步骤(5)干燥后的薄膜在550～750℃进行热处理；(7)重复步骤(5)、(6)制备厚度为300nm的多层薄膜；(8)将步骤(7)制备的多层薄膜再于550～750℃进行后处理，处理0.5～2h，得到钛酸锶钡介质薄膜。