[发明专利]氦循环、净化及储存系统

摘要

本发明公开了一种氦循环、净化及储存系统，该系统包括用于向系统中注入氦气的压力气瓶、串接在压力气瓶的输出端上的抽气泵、串接在抽气泵的输出端的滤油过滤器、串接在滤油过滤器的输出端的低温过滤器、串接在低温过滤器的输出端的氢吸附器，氢吸附器的输出端通过输气管路输入待供应氦气的低温恒温器中，该系统还包括用于在低温恒温器停止工作时回收系统内氦气的储气罐，该储气罐的出气口连接在所述抽气泵的输入端，进气口连接在滤油过滤器与低温过滤器之间，本系统结构简单，通过本系统向低温恒温器中输送的氦气纯度高，冷却效果好，并通过储气罐可将氦气回收，提高了氦气的利用率。

主权项

一种氦循环、净化及储存系统，其特征在于，所述系统包括：压力气瓶，用于向所述系统中注入氦气；抽气泵，所述抽气泵串接在所述压力气瓶的输出端上；滤油过滤器，用于去除通入其内氦气中油类物质，所述滤油过滤器串接在所述抽气泵的输出端；低温过滤器，用于过滤通入其内氦中杂质及有机物，所述低温过滤器串接在所述滤油过滤器的输出端；氢吸附器，用于吸附通入其内氦中混杂的氢，所述氢吸附器串接在所述低温过滤器的输出端，所述氢吸附器的输出端通过输气管路输入待供应氦气的低温恒温器中，所述系统还包括用于在所述低温恒温器停止工作时回收所述系统内氦气的储气罐，所述储气罐的出气口连接在所述抽气泵的输入端，所述储气罐的进气口连接在所述滤油过滤器与所述低温过滤器之间。