[发明专利]一种吸液芯的制造方法

摘要

本发明公开了一种吸液芯的制造方法，通过对板基打磨，配置液态光致抗蚀剂溶液，板基涂油墨，板基风干，吸液芯图样打印，板基曝光、显影，腐蚀溶液配置，板基腐蚀、脱模等步骤，即可实现结构复杂的吸液芯，为产品的研发初期节省成本，由于吸液芯的槽道轮廓是打印而来，因而当槽道形状参数如宽度、角度发生变化时，只需要更改图纸即可，从而可以大大节约产品研发初期的成本。本发明工艺设备简单低廉，技术手段简便易行，可以实现大批量生产，具有较高的市场的需求量。

主权项

一种吸液芯的制造方法，其特征在于如下步骤：(1)板基打磨：板基表面用细砂纸打磨，使其表面无氧化、被均匀粗化、表面无水迹；(2)配置液态光致抗蚀剂溶液：按体积百分比取85％～95％的液态光致抗蚀剂与稀释剂混合；(3)板基涂油墨：用软排笔将步骤(2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均匀的涂抹到步骤(1)中板基的打磨一面；(4)板基风干：将经过步骤(3)处理的板基放入暗箱，室温20℃，风干1小时；(5)吸液芯图样打印：将吸液芯图样用激光打印机打印在投影胶片；(6)板基曝光：将步骤(5)中吸液芯图样的投影胶片，覆盖在经过步骤(4)处理后、板基涂有液态光致抗蚀剂溶液的一面上，然后连同板基放置在紫外线灯下曝光；(7)板基显影：将20g显影剂放入温度为20℃的500ml水中，搅拌均匀后，将步骤(6)中完成曝光的板基放入清洗；5分钟后吸液芯图样显现；(8)完成步骤(7)后，待板基干燥，将步骤(2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均匀的涂抹到板基的另一面及边缘，板基放在阳光下晾晒至板基干燥；(9)腐蚀溶液配置：将三氯化铁与蒸馏水混合，得到腐蚀溶液；(10)板基腐蚀：将经过步骤(8)处理后的板基放入步骤(9)中的腐蚀液，用风扇注风使腐蚀液流动，腐蚀100分钟～2.5小时，腐蚀液温度控制在20℃～60℃；(11)板基脱模：将20g显影剂放入温度为50℃的500ml水中，搅拌均匀，再将经过步骤(10)处理的板基放入；5分钟后取出，得到所需图样的吸液芯。