[发明专利]一种基板检测方法和装置

摘要

本发明提供了一种基板检测方法和装置，用于解决现有技术中通过单点扫描方式对大尺寸基板进行检测时所导致的工艺时间长、生产效率低的问题。所述装置包括：对经过起偏器后的线偏振光进行扩展的扩光器，对透过待测元件的线偏振光进行收缩的束光器，对将透过所述束光器后的线偏振光光束分成多个子光束、并将每一所述子光束投射到检偏器中的一检测区域的分光器，将每一检测区域对应的第一光强和第二光强发送给控制器的检偏器，和根据每一检测区域中的第一光强和第二光强计算得到所述待测元件的实际相位延迟量、根据所述实际相位延迟量和预设相位延迟量判断该待测元件是否合格的控制器。

主权项

一种基板检测装置，其特征在于，所述装置包括：光源；起偏器，将接收到的光源发出的光转化为线偏振光；扩光器，对所述线偏振光进行扩展，使透过所述扩光器后投射到待测元件表面的线偏振光光束的横截面面积变大；束光器，对透过待测元件的线偏振光进行收缩，使透过所述束光器后线偏振光光束的横截面面积变小；分光器，将透过所述束光器后的线偏振光光束分成多个子光束，并将每一所述子光束投射到检偏器中的一检测区域；检偏器，检测每一检测区域中子光束的光强；并且，将在所述起偏器旋转前的该检测区域内的光强作为与该检测区域相应的第一光强发送给控制器，将在垂直于光束出射方向的平面中起偏器旋转后的该检测区域内的光强作为与该检测区域相应的第二光强发送给控制器；控制器，接收所述检偏器发送的与每一检测区域相应的第一光强和第二光强，根据每一检测区域中的第一光强和第二光强，计算得到所述待测元件的实际相位延迟量，根据所述实际相位延迟量和预设相位延迟量判断该待测元件是否合格。