[发明专利]一种基板检测方法和装置

权利要求书

1.一种基板检测装置，其特征在于，所述装置包括：

光源；

起偏器，将接收到的光源发出的光转化为线偏振光；

扩光器，对所述线偏振光进行扩展，使透过所述扩光器后投射到待测元件表面的线偏振光光束的横截面面积变大；

束光器，对透过待测元件的线偏振光进行收缩，使透过所述束光器后线偏振光光束的横截面面积变小；

分光器，将透过所述束光器后的线偏振光光束分成多个子光束，并将每一所述子光束投射到检偏器中的一检测区域；

检偏器，检测每一检测区域中子光束的光强；并且，将在所述起偏器旋转前的该检测区域内的光强作为与该检测区域相应的第一光强发送给控制器，将在垂直于光束出射方向的平面中起偏器旋转后的该检测区域内的光强作为与该检测区域相应的第二光强发送给控制器；

控制器，接收所述检偏器发送的与每一检测区域相应的第一光强和第二光强，根据每一检测区域中的第一光强和第二光强，计算得到所述待测元件的实际相位延迟量，根据所述实际相位延迟量和预设相位延迟量判断该待测元件是否合格。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光源、起偏器、扩光器、束光器、分光器和检偏器的中心轴位于同一直线上。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器还用于：

将所述相位延迟量与预设相位延迟量进行比较，当所述实际相位延迟量小于所述预设相位延迟量时，则判定所述待测元件合格并发出该待测元件合格的信号。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器还用于：

根据所述实际相位延迟量，计算得到该待测元件的实际应力变化量；并将所述实际应力变化量与预设应力变化量进行比较，当所述实际应力变化量小于所述预设应力变化量时，则判定所述待测元件合格并发出该待测元件合格的信号。

5.如权利要求3或4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括用于接收所述控制器发送的待测元件合格的信号并进行显示的显示面板。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括步进电机，所述步进电机接收控制器发出的旋转控制信号，根据该旋转控制信号带动起偏器沿预设的方向旋转预设的角度。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述起偏器包括偏光片以及用于承载所述偏光片的框架；所述分光器为二维正交光栅。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述检偏器包括四个检测区域，每一检测区域中放置一偏光片，并且每两个不相邻的检测区域中的偏光片的偏光轴相互垂直。

9.一种利用权利要求1～8任一所述的基板检测装置进行检测的方法，其特征在于，所述方法包括：

将待测元件放置在起偏器与扩光器之间，开启光源；

通过检偏器检测每一检测区域中子光束的光强，并将每一检测区域内的光强作为与该检测区域相应的第一光强发送给控制器；

在垂直于光束出射方向的平面中控制起偏器进行旋转；

旋转起偏器后，通过检偏器检测每一检测区域中子光束的光强，并将旋转起偏器后的每一检测区域内的光强作为与该检测区域相应的第二光强发送给控制器；

根据所述每一检测区域对应的第一光强和第二光强，通过控制器计算出所述待测元件的实际相位延迟量，并根据所述实际相位延迟量和预设相位延迟量判断该待测元件是否合格。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，当所述基板检测装置还包括步进电机时，所述方法还包括：

在检偏器将每一检测区域对应的第一光强发送给控制器后，控制器向所述步进电机发送旋转控制信号，令所述步进电机根据该旋转控制信号带动起偏器沿预设的方向旋转预设的角度。