[发明专利]加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统及其方法

摘要

本发明公开了一种加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统及其方法。包括工作台、导轨、控制装置和激光多普勒干涉仪；导轨的两侧翼和工作台的两内侧面设有两对导向磁铁，导轨两侧下表面和工作台底部两侧上表面设有两对悬浮磁铁和两对直线电机绕组，每对直线电机绕组包括设在工作台的直线电机转子绕组和设在导轨的直线电机定子绕组；本发明通过磁悬浮方式改变空气间隙高压气体从节流孔的高速喷出方式，同时通过边界层上表面加热控制方法，使空气间隙中的气体运动维持在层流状态，减小非接触式工作台运动部件与固定件之间空气间隙内的阻力，提高非接触式工作台定位精度，减小工作台能耗。

主权项

 一种加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统，其特征在于：包括工作台（2）、导轨（1）、控制装置（20）和激光多普勒干涉仪（19）；工作台（2）和导轨（1）采用“T”型布置，导轨（1）的两侧翼和工作台（2）的两内侧面设有两对导向磁铁（9），导轨（1）两侧下表面和工作台底部两侧上表面设有两对悬浮磁铁（8）和两对直线电机绕组，每对直线电机绕组包括设在工作台（2）的直线电机转子绕组（11）和设在导轨（1）的直线电机定子绕组（10）；每对悬浮磁铁（8）相互吸引，以悬浮工作台（2），导轨（1）的上表面为支撑面（7），工作台（2）一侧设有激光多普勒干涉仪（19）；当悬浮磁铁（8）相互吸引或排斥悬浮起工作台（2）后，导轨（1）和工作台（2）之间形成悬浮间隙（4），悬浮间隙（4）水平部分对应的工作台（2）底部设有一个或多个加热腔（5），加热腔（5）下部设有盖板（6），盖板两侧设有数个螺栓孔（3），盖板（6）上表面均匀布置有测温装置（12），加热腔的两端面开有引线孔（13），加热腔（5）内部均匀设有加热装置（14），工作台系统由控制装置（20）控制。