[发明专利]加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统及其方法

权利要求书

1. 一种加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统，其特征在于：包括工作台（2）、导轨（1）、控制装置（20）和激光多普勒干涉仪（19）；工作台（2）和导轨（1）采用“T”型布置，导轨（1）的两侧翼和工作台（2）的两内侧面设有两对导向磁铁（9），导轨（1）两侧下表面和工作台底部两侧上表面设有两对悬浮磁铁（8）和两对直线电机绕组，每对直线电机绕组包括设在工作台（2）的直线电机转子绕组（11）和设在导轨（1）的直线电机定子绕组（10）；每对悬浮磁铁（8）相互吸引，以悬浮工作台（2），导轨（1）的上表面为支撑面（7），工作台（2）一侧设有激光多普勒干涉仪（19）；当悬浮磁铁（8）相互吸引或排斥悬浮起工作台（2）后，导轨（1）和工作台（2）之间形成悬浮间隙（4），悬浮间隙（4）水平部分对应的工作台（2）底部设有一个或多个加热腔（5），加热腔（5）下部设有盖板（6），盖板两侧设有数个螺栓孔（3），盖板（6）上表面均匀布置有测温装置（12），加热腔的两端面开有引线孔（13），加热腔（5）内部均匀设有加热装置（14），工作台系统由控制装置（20）控制。

2. 一种加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统，其特征在于：包括工作台（2）、导轨（1）、控制装置（20）和激光多普勒干涉仪（19）；工作台（2）和导轨（1）采用“U”型布置，导轨（1）的两内侧面和工作台（2）两外侧面设有两对导向磁铁（9）和两对直线电机绕组，导轨的两侧上表面和工作台的两侧下表面共设有两对悬浮磁铁（8），每对直线电机绕组包括设在工作台（2）的直线电机转子绕组（11）和设在导轨（1）的直线电机定子绕组（10）；每对悬浮磁铁（8）相互排斥，以悬浮工作台（2），工作台（2）下部两侧设有支撑体（7’），工作台（2）一侧设有激光多普勒干涉仪（19）；当悬浮磁铁（8）相互吸引或排斥悬浮起工作台（2）后，导轨（1）和工作台（2）之间形成悬浮间隙（4），悬浮间隙（4）水平部分对应的工作台（2）底部设有一个或多个加热腔（5），加热腔（5）下部设有盖板（6），盖板两侧设有数个螺栓孔（3），盖板（6）上表面均匀布置有测温装置（12），加热腔的两端面开有引线孔（13），加热腔（5）内部均匀设有加热装置（14），工作台系统由控制装置（20）控制。

3. 一种加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统，其特征在于：包括工作台（2）、导轨（1）、控制装置（20）和激光多普勒干涉仪（19）；工作台（2）和导轨（1）采用“丄”型布置，导轨（1）两侧翼和工作台（2）两内侧面设有两对导向磁铁（9）和两对直线电机绕组，导轨（1）两侧上表面和工作台（2）两侧下表面设有两对悬浮磁铁（8），每对直线电机绕组包括设在工作台（2）的直线电机转子绕组（11）和设在导轨（1）的直线电机定子绕组（10）；每对悬浮磁铁（8）互相排斥，以悬浮工作台（2），工作台（2）下部两侧设有支撑体（7’），工作台（2）一侧设有激光多普勒干涉仪（19）；当悬浮磁铁（8）相互吸引或排斥悬浮起工作台（2）后，导轨（1）和工作台（2）之间形成悬浮间隙（4），悬浮间隙（4）水平部分对应的工作台（2）底部设有一个或多个加热腔（5），加热腔（5）下部设有盖板（6），盖板两侧设有数个螺栓孔（3），盖板（6）上表面均匀布置有测温装置（12），加热腔的两端面开有引线孔（13），加热腔（5）内部均匀设有加热装置（14），工作台系统由控制装置（20）控制。

4. 一种加热型边界层控制减阻超精密磁悬浮导轨工作台系统，其特征在于：包括工作台（2）、导轨（1）、控制装置（20）和激光多普勒干涉仪（19）；工作台（2）和导轨（1）采用“一”型布置，导轨（1）两侧上表面和工作台两侧下表面从外侧向内侧设有两对悬浮磁铁（8）、两对直线电机绕组和两对导向磁铁（9），每对直线电机绕组包括设在工作台（2）的直线电机转子绕组（11）和设在导轨（1）的直线电机定子绕组（10）；每对悬浮磁铁（8）互相排斥，以悬浮工作台（2），工作台（2）下部两侧设有支撑体（7’），工作台（2）一侧设有激光多普勒干涉仪（19）；当悬浮磁铁（8）相互吸引或排斥悬浮起工作台（2）后，导轨（1）和工作台（2）之间形成悬浮间隙（4），悬浮间隙（4）水平部分对应的工作台（2）底部设有一个或多个加热腔（5），加热腔（5）下部设有盖板（6），盖板两侧设有数个螺栓孔（3），盖板（6）上表面均匀布置有测温装置（12），加热腔的两端面开有引线孔（13），加热腔（5）内部均匀设有加热装置（14），工作台系统由控制装置（20）控制。