[发明专利]一种用于拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具-定位仪

摘要

本发明公开了一种拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具‐定位仪。滑轨卡在转坞的凹槽中沿着转坞的凹槽滑动，转坞绕着转坞轴转动；两个伸缩杆轮齿与转坞壳内部的齿轮进行啮合；转坞壳设计为中空圆柱，上表面预留一个与转坞轴相配合的圆孔，转坞轴通过此孔插入到转坞壳内部的齿轮中间的孔中；固定臂垂直于两条伸缩杆，测角仪固定在转坞壳及固定臂上。而由于拉曼仪器本身入射光斑非常小，对测量位置的精确定位很难实现。针对该问题，本发明可以将入射激光较为准确地定位到试样任何测量位置，从而保证了不同试样测量结果的可对比性，极大地提高了拉曼测量的定位精度和结果的可靠性，加工简单，成本低廉。

主权项

一种用于拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具‑定位仪，其特征在于：包括滑轨及转坞部分、伸缩臂部分和角度测量部分；滑轨及转坞部分包括带有刻度的滑轨和转坞两个构件；其中滑轨上刻出通孔槽，通孔槽沿着滑轨长度方向；滑轨是一个细长杆，将其一端加工成针尖形状，作为指示角度的指针使用；滑轨卡在转坞的凹槽中，滑轨能够沿着转坞的凹槽滑动；转坞位于定位仪中心，转坞下方设有转坞轴，转坞能够绕着转坞轴转动；所述伸缩臂部分包括两个带有齿轮的伸缩杆、一个和转坞嵌套的转坞壳、一个通过转坞轴嵌套在转坞壳内部的齿轮、以及一个固定支撑杆；在同一水平面上的两个伸缩杆轮齿与转坞壳内部的齿轮进行啮合；转坞壳设计为中空圆柱，上表面预留一个与转坞轴相配合的圆孔，转坞轴通过此孔插入到转坞壳内部的齿轮中间的孔中；固定臂垂直于两条伸缩杆，且不能伸缩，与转坞壳固定在一起，所述角度测量部分包括一个测角仪，测角仪固定在转坞壳及固定臂上。