[发明专利]对带电粒子设备中的样品成像的方法

摘要

公开了一种对带电粒子设备中的样品成像的方法。本发明涉及配备有离子束柱(102)和电子束柱(101)的双束设备，电子束柱包含静电浸没透镜(116)。当倾斜样品(104)时，静电浸没场失真并且失去绕电子光轴的对称。结果倾斜引入有害影响，诸如横向色像差和束位移。另外在样品的非倾斜位置中检测二次电子或后向散射电子的柱内检测器(141)将在当倾斜样品时归因于失去浸没场对称而表现出这些电子的混合。本发明示出如何通过关于最靠近样品的接地电极对平台进行偏置来消除或至少减少这些缺点。

主权项

一种对带电粒子设备(100)中的样品成像的方法，所述带电粒子设备配备有• 可抽真空的样品室(103)，• 用于沿着电子束轴线产生精细聚焦的电子束(112)的电子束柱(101)，所述电子束柱配备有包含静电浸没透镜的物镜(116)，• 用于沿着离子束轴线产生精细聚焦的离子束(122)的聚焦离子束柱(102)，• 所述聚焦离子束柱(102)和所述电子束柱(101)被安装在所述样品室(103)上，以使得电子束轴线和离子束轴线在交点位置(106)处相交，• 示出配备有用于支承样品(104)的部件的导电平面(201)的样品操纵器(105)，所述样品操纵器能够在所述导电平面（201）垂直于电子束轴线时与作为垂直于由电子束轴线和离子束轴线限定的平面的第一平面成第一倾斜角度的第一倾斜位置和在所述导电平面（201）垂直于离子束轴线时与所述第一平面成第二倾斜角度的第二倾斜位置之间倾斜所述导电平面（201），所述方法包括• 把样品(104)安装在所述样品操纵器(105)的所述导电平面（201）上，• 利用所述电子束柱(101)把精细聚焦电子束(112)导向样品(104)，• 利用所述聚焦离子束柱(102)把离子束(122)导向样品(104)，其特征在于所述电子束柱(101)示出最靠近交点位置(106)的电极(204)，并且所述聚焦离子束柱(102)示出最靠近交点位置(106)的电极(212)，所述的两个电极连接到公共电位，以及对安装有样品(104)的所述导电平面(201)关于所述的两个电极进行电偏置而达到取决于倾斜角度离子束(122)和电子束(112)在不示出横向色像差的情况下相交于交点位置(106)这样的程度，以及对于两个倾斜位置而言束的交点在同一位置处。