[发明专利]超薄类金刚石薄膜过滤膜有效
| 申请号： | 201410239501.5 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN104014254A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 颜学庆;朱军高;李韫慧 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B01D71/02 | 分类号： | B01D71/02;B01D69/10;B01D67/00;C23C14/32;C23C14/06;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙) 11426 | 代理人： | 路永斌;余光军 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超薄类金刚石薄膜过滤膜，该过滤膜包括基底和直接附着在基底上的超薄类金刚石薄膜层，且薄膜层具有纳米量级孔径的通道。本发明提供的超薄类金刚石薄膜过滤膜具有高硬度，优异的耐磨性以及优异的化学惰性，可应用于分离、过滤和提纯等技术中，有益于环境保护和能源节约。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 金刚石 薄膜 滤膜 | ||
【主权项】：
一种超薄类金刚石薄膜过滤膜，该过滤膜包括以下部分：基底和薄膜层，其中，所述薄膜层为由碳离子沉积得到的超薄类金刚石薄膜层，该薄膜层直接附着在基底上，薄膜层厚度为5纳米到10微米，其中存在纳米量级孔径的通道，所述基底为有孔洞的载体或是光刻胶。
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