[发明专利]带除害功能的真空泵

摘要

本发明提供带除害功能的真空泵，不需要为了将废气处理至容许浓度以下而进行除害部的定制(根据规格改变)，能够大幅缩短设计时间、验证时间，能够削减交货期，而且，与安全容许浓度相符地提供最低限度的规格，由此能够以最小限度的初始成本、使用成本来提供带除害功能的真空泵。在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理使之无害化的除害部(10)，在该真空泵(1)中，准备多个类型的、废气的处理形式以及/或者废气的处理量不同的除害部，并根据从真空泵(1)排出的废气的气体量以及气体种类而从多个类型的除害部(10)中选定1台或者多台除害部(10)，将所选定的除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。

主权项

一种带除害功能的真空泵，在真空泵的排气口附设有对从真空泵排出的废气进行处理而使之无害化的除害部，该带除害功能的真空泵的特征在于，准备多个类型的、废气的处理形式以及/或者废气的处理量不同的除害部，根据从所述真空泵排出的废气的气体量以及气体种类，从多个类型的所述除害部中选定1台或者多台除害部，将所选定的所述除害部与所述真空泵的排气口连接。