[发明专利]进阶修正方法

摘要

本发明公开了一种进阶修正方法。该方法包括：提供目标布局图形；接着，以修正模型修正目标布局图形，以取得修正图形；之后，对修正图形进行仿真模拟，以取得模拟轮廓；其后，在模拟轮廓上建立多个离标评估点，再比较仿真轮廓与目标布局图形，并取得各个离标评估点的多个风险加权值；继之，将各个离标评估点的风险加权值加总所得到的风险加总值由高至低排序成处理顺序；将目标布局图形加以辨认及分类归纳成多个图形区块；其后，依据处理顺序，调整修正图形，使调整后的修正图形的仿真轮廓收敛且接近目标布局图形。

主权项

一种进阶修正方法，包括：提供一目标布局图形(Target layout pattern)；对该目标布局图形施以分段及建立多个评估点；以一修正模型修正该目标布局图形以取得一修正图形；对该修正图形进行一仿真模拟，以取得一模拟轮廓(simulation contour)；在该目标布局图形上的每一评估点计算该仿真轮廓与该目标布局图形的一差异，当该差异值大于所设定的一标准值时，所对应的该评估点即被归类成一离标评估点(off‑target evaluation point)；依据影响该仿真轮廓偏离该目标布局图形的多个影响因子以及多个预设条件范围，以取得各个离标评估点的多个风险加权值；将各个离标评估点的这些风险加权值加总，以得到各个离标评估点的一风险加总值；将这些离标评估点的这些风险加总值由高至低排序成一处理顺序；将该目标布局图形加以辨认及分类归纳成多个图形区块；以及依据该处理顺序，调整该修正图形，使调整后的该修正图形的该仿真轮廓收敛且接近该目标布局图形。