[发明专利]微机械传感器装置有效
| 申请号： | 201410202080.9 | 申请日： | 2014-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN104165917B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | T.奥赫斯;D.孔茨 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杜荔南;胡莉莉 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 微机械传感器装置。本发明涉及一种用于探测和/或测量气体的传感器装置，包括两个电极，在所述两个电极之间设置有薄层的质子传导性材料。通过借助不同的气体浓度形成的质子梯度可以探测或测量气体。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量和/或探测气体的传感器装置，包括：具有前侧（VS）和背侧（RS）的载体衬底（1），在所述载体衬底中设置有腔（K），所述腔从所述背侧（RS）伸展直至所述前侧（VS）并且定义测量区域（B），薄层的离子传导性材料（5），所述薄层的离子传导性材料相对正充电的离子比相对负充电的离子具有更高的传导性并且覆盖所述腔和其外围区域；第一微机械电极（E1）；以及第二微机械电极（E2），其中所述薄层的离子传导性材料（5）被所述第一微机械电极（E1）和所述第二微机械电极（E2）包围；其中所述传感器装置被构造为使得所述前侧（VS）朝向分析气体室，而所述背侧（RS）构成参照气体室的一部分。
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