[发明专利]线性扫描总成在审
| 申请号： | 201410201621.6 | 申请日： | 2014-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN104422701A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡政道 | 申请（专利权）人： | 政美应用股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 须一平 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明关于一种线性扫描总成，用以进行一圆片的扫描检测作业。线性扫描总成包含：一承载平台、一线性扫描装置及一线性光源。承载平台具有一通孔，圆片适于设置于通孔上，使承载平台可移动地承载圆片。线性扫描装置设置于承载平台上方，且线性光源系设置于承载平台下方，用以发射一线性光束以经由通孔穿透圆片。其中，线性扫描装置适于接收穿透圆片的线性光束，以完成圆片的扫描检测作业。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 扫描 总成 | ||
【主权项】：
一种线性扫描总成，用以进行一圆片的扫描检测作业，其特征在于，包含：一承载平台，具有一通孔，该圆片适于设置于该通孔上，使该承载平台可移动地承载该圆片；一线性扫描装置，设置于该承载平台上方；以及一线性光源，设置于该承载平台下方，用以发射一线性光束以经由该通孔穿透该圆片；其中，该线性扫描装置适于接收穿透该圆片的该线性光束，以完成该圆片的扫描检测作业。
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