[发明专利]一种制备CoCrAlYSi合金靶材的方法有效
申请号: | 201410201389.6 | 申请日: | 2014-05-14 |
公开(公告)号: | CN104018016A | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 毕珺;宋修庆;闻明;管伟明 | 申请(专利权)人: | 贵研铂业股份有限公司 |
主分类号: | C22C1/03 | 分类号: | C22C1/03;C22C19/07;C23C14/34 |
代理公司: | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人: | 赛晓刚 |
地址: | 650106 云南省昆明市昆明高*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明公开了一种制备CoCrAlYSi合金靶材的方法,涉及使用多种中间合金及恰当的熔炼工艺制备CoCrAlYSi合金靶材,以获得元素含量稳定,无偏析,质量性能好的产品。通过使用Co-Al合金,使各原料的熔化温度趋于近似,避免低熔点元素Al的挥发;使用Cr-Si合金以避免Si元素与其他元素的复杂反应;使用Cr-Y合金在浇铸前加入,避免了Y的氧化造渣和成品中Y含量不稳定,最终成功制备了各元素含量与配比相同,无偏析的合金靶材产品。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 cocralysi 合金 方法 | ||
【主权项】:
一种制备CoCrAlYSi合金靶材的方法,包括中间合金的成分确定和熔炼工艺,最终合金的熔炼和浇铸工艺,其特征在于:成分配比的重量百分比wt%为:Cr:21‑25,Al:11‑13,Y:0.4‑1.8,Si:0.05‑0.5,其余为Co,选择配制中间合金,使用熔炼和浇铸工艺制备该CoCrAlYSi合金。
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