[发明专利]基于光谱干涉的透明材料折射率及厚度测量装置和测量方法

摘要

本发明属于光学材料测量技术领域，具体为一种基于光谱干涉的透明材料折射率及厚度测量装置和测量方法。本发明测量装置包括：一低相干度光源、分束镜,两片平板玻璃组成的F-P腔,二维样品台、待测样品、聚焦透镜、耦合光纤、光谱仪和计算机；测量时将F-P腔调至使入射光垂直入射，待测量样品插入腔内并使光束垂直入射样品表面，通过测量样品放入腔内前后的两幅光谱数据，就可以计算出样品的几何厚度d和群速折射率n_g；本发明测量装置结构简单，测量方法操作简便，测量精度高。系统易于制成小型化和便携式装置。

主权项

 一种基于光谱干涉的透明材料折射率及厚度测量装置，其特征在于：包括一低相干度光源(1)，分束镜(2)，构成的F‑P腔的两块平板玻璃 (3、4), 二维样品台(5)，待测样品(6)，聚焦透镜(7)，耦合光纤(8)，光谱仪(9)，计算机(10)；其中，低相干度光源(1)、分束镜(2)、 F‑P腔的两块平板玻璃(3)和(4)、二维样品台(5), 聚焦透镜(7)分别固定在工作台面上, 相对独立；耦合光纤(8)直接与光谱仪(9)连接，光谱仪(9)与计算机(10)通过数据总线连接以进行数据传输。