[发明专利]一种生产透明导电膜玻璃的方法有效

专利信息
申请号: 201410194869.4 申请日: 2014-05-10
公开(公告)号: CN103951283A 公开(公告)日: 2014-07-30
发明(设计)人: 彭寿;王东;金良茂;石丽芬;单传丽;张家林;王芸;马立云;甘治平 申请(专利权)人: 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司
主分类号: C03C17/34 分类号: C03C17/34
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233010 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种生产透明导电膜玻璃的方法,包括以下步骤:(1)在退火窑内,将含有硅烷、含氧源的气态屏蔽层前驱体以惰性气体为载体,通入到温度为460~480℃的玻璃表面上,利用激光束平行入射,使气态屏蔽层前驱体光致解离发生化学气相反应,在玻璃表面沉积形成厚度为50~90nm的屏蔽层;(2)在退火窑内,玻璃温度为435~455℃的范围内,将含有预制气化的锌源、铝源、含氧源的气态导电层前驱体以惰性气体为载体,通入到已经沉积有屏蔽层的玻璃表面上,利用激光束平行入射,使气态导电层前驱体光致解离发生化学气相反应,在玻璃表面形成厚度为250~400nm的导电层。本发明有效降低了镀膜反应的温度,有利于提高薄膜质量,提高前驱气体利用率,有利于浮法线工况稳定。
搜索关键词: 一种 生产 透明 导电 玻璃 方法
【主权项】:
一种生产透明导电膜玻璃的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1).在玻璃生产线的退火窑内,将含有硅烷、含氧源的气态屏蔽层前驱体以惰性气体为载体,通入到温度为460~480℃的玻璃表面上,利用激光束在高于玻璃表面0.8mm‑2.0mm范围内平行入射,使气态屏蔽层前驱体光致解离发生化学气相反应,在玻璃表面沉积形成厚度为50~90nm的屏蔽层;(2).在玻璃生产线的退火窑内,玻璃温度为435~455℃的范围内,将含有预制气化的锌源、铝源、含氧源的气态导电层前驱体以惰性气体为载体,通入到已经沉积有屏蔽层的玻璃表面上,利用激光束在高于玻璃表面0.8mm‑2.0mm范围内平行入射,使气态导电层前驱体光致解离发生化学气相反应,在玻璃表面形成厚度为250~400nm的导电层。
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