[发明专利]一种多源直流电弧自动化纳米粉体生产系统及方法

摘要

一种多源直流电弧自动化纳米粉体生产装置及方法，属于纳米材料制备技术领域。该装置包括多电极纳米粉体生成室、分级室、捕集室、处理室、钝化室、抽真空系统、气体循环系统、电动传动装置、液压传动装置、冷却系统等。捕集室是独立的箱体，由倒锥形双壁水冷腔体、内部上端敞口捕集笼、封闭滤芯内套、气体循环气路构成，捕集笼及滤芯由粉体过滤材料及滤布组成，其内测及外侧可由转动毛刷自动去除沉积的纳米粉体，底部锥形出口与纳米粉体处理室相连，并设有手动阀门及观察窗。捕集室和处理室由隔离过渡舱相连接。本发明实现纳米粉体的自动化连续生产，具有在线监测、捕集、处理、钝化及包装功能，提高了产品的生产效率和品质。

主权项

一种多源直流电弧自动化纳米粉体生产系统，其特征在于，包括多电极纳米粉体生成室、纳米粉体分级室、纳米粉体捕集室、纳米粉体处理室、纳米粉体钝化室、抽真空系统、气体循环泵、电动传动装置、液压传动装置和冷却系统；液压传动装置位于多电极纳米粉体生成室的顶端，用于控制多电极纳米粉体生成室中阴极的三维移动；电动传动装置位于多电极纳米粉体生成室的底端，用于控制多电极纳米粉体生成室中阳极靶材的向上移动；纳米粉体捕集室通过外接纳米粉体处理室接口与纳米粉体处理室相连；纳米粉体处理室与纳米粉体钝化室相连；多电极纳米粉体生成室、纳米粉体分级室、纳米粉体捕集室、气体循环泵依次连接构成环路，进行整个系统的气体循环；气体循环泵通过上述环路中产生循环气流，收集纳米粉体；抽真空系统与上述的环路相接，对整个系统进行抽真空；冷却系统用于对生产装置系统中各部件进行冷却。