[发明专利]吸光性优异且适于形成微细图案的感光性组合物在审
| 申请号： | 201410183532.3 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN105022226A | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 金哲镐;孔炳善;李珉成;郑贤真 | 申请（专利权）人： | 株式会社KCC |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谢顺星;王莹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种吸光性优异且适于形成微细图案的感光性组合物，更详细而言，涉及一种利用通过紫外线灯和光掩模曝光的一次性曝光法或利用来自紫外线灯的光或短波长激光的直接描绘法，来形成用于实现所希望图案的固化部分，并通过碱性水溶液将未固化部分用于显影的感光性组合物，涉及一种感光性组合物及其固化物，以及通过将所述组合物涂敷于载体薄膜上之后进行干燥而得到的干膜。优选地，所述感光性组合物在曝光前的干燥涂膜厚度为25μm时对于355nm及375nm波长的吸光度为1.2～1.8，对于405nm波长的吸光度为0.6以上。 | ||
| 搜索关键词： | 吸光性 优异 适于 形成 微细 图案 感光性 组合 | ||
【主权项】：
一种感光性组合物，其特征在于，所述感光性组合物包含(1)含羧酸基树脂100重量份，(2)光聚合引发剂0.1～20重量份，(3)具有1μm以下的平均粒径及3μm以下最大粒径的填充剂0.1～300重量份，及(4)分散剂0.1～5重量份。
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