[发明专利]液压支撑主镜位置测量装置和测量方法有效

专利信息
申请号: 201410182524.7 申请日: 2014-05-04
公开(公告)号: CN103983223B 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: 吴小霞;刘昌华;邵亮;孙敬伟;陈宝刚;张岩;王建立;张景旭 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01B21/00 分类号: G01B21/00
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 代理人: 王丹阳
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 液压支撑主镜位置测量装置和测量方法,涉及主镜位置测量领域,解决了液压支撑时镜室中主镜位置不确定的问题。该装置中的径向测量机构包括与镜室固定连接的径向安装座、与径向安装座通过第一传感器压块固定连接的第一位移传感器、粘接在主镜外圆周上的径向测量块;测量时第一位移传感器的测头与径向测量块上光滑的测量平面保持接触可滑动状态;轴向测量机构包括与镜室固定连接的轴向安装座、与轴向安装座通过第二传感器压块固定连接的第二位移传感器、粘接在主镜背面上的轴向测量块;测量时第二位移传感器的测头与轴向测量块上光滑的测量平面保持接触可滑动状态。本发明测量误差小、测量精度高、结构简单、解算效率高。
搜索关键词: 液压 支撑 位置 测量 装置 测量方法
【主权项】:
液压支撑主镜位置测量方法,其特征在于,采用液压支撑主镜位置测量装置进行测量,所述液压支撑主镜位置测量装置包括径向测量机构和轴向测量机构,所述径向测量机构包括与镜室(8)固定连接的径向安装座(2)、与径向安装座(2)通过第一传感器压块(3)固定连接的第一位移传感器(1)、通过高强度结构胶粘接在主镜(5)外圆周上的径向测量块(4);测量时第一位移传感器(1)的测头与径向测量块(4)上光滑的测量平面保持接触可滑动状态;所述轴向测量机构包括与镜室(8)固定连接的轴向安装座(7)、与轴向安装座(7)通过第二传感器压块(10)固定连接的第二位移传感器(9)、通过高强度结构胶粘接在主镜(5)背面上的轴向测量块(6);测量时第二位移传感器(9)的测头与轴向测量块(6)上光滑的测量平面保持接触可滑动状态;采用3组轴向测量机构和3组径向测量机构同时测量,该方法的条件和步骤如下:(1)镜室(8)水平放置、主镜(5)未装入镜室(8)时,在主镜(5)上3个轴向虚拟硬点对应均布安装3组轴向测量机构,3个第二位移传感器(9)的测杆均与主镜(5)光轴平行,装入主镜(5)稳定后,粘接在主镜(5)背面的3个轴向测量块(6)分别与对应的3个第二位移传感器(9)的测头接触,标定出3个轴向位移初值;在主镜(5)的3个轴向虚拟硬点所在圆周角对应的外圆周上均布安装3组径向测量机构,3个第一位移传感器(1)的测杆均沿主镜(5)半径方向指向主镜(5),标定出3个径向位移初值;(2)主镜(5)位置发生变化时,实时记录6个位移传感器的读数,并分别与各个位移传感器的初值求差,计算出各个测点位置变化值后通过方程组解算出主镜(5)位移的5个自由度分量和主镜(5)半径的热变形量。
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