[发明专利]光栅尺在高速度条件下的可靠性的检测方法和装置有效
| 申请号： | 201410181995.6 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN103968757B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张立华;吴宏圣;孙强;李也凡 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 光栅尺在高速度条件下的可靠性检测方法及检测所用装置，属于光栅尺检测技术领域，该方法包括一、将绝对式光栅尺安装在单轴直线运动平台上，将单轴直线运动平台固定在隔振平台上，用千分表测量光栅尺的侧面与上端面，移动单轴直线运动平台，调整光栅尺使其符合阿贝原则及其安装要求；待系统稳定后，开始测量；二、光栅尺通过数据采集器连到微机控制系统上；微机控制系统与控制器相连，控制器与单轴直线运动平台上的滑块相连接，令单轴直线运动平台高速往复运动三次，光栅尺停止后记录当前位置值W1，系统断电后，等待30秒，再开电，再次读取当前位置值W2，共做三次实验，每次实验满足|W1‑W2|≤20μm条件，则判定光栅尺指标合格。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅尺 高速度 条件下 可靠性 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
光栅尺在高速度条件下的可靠性的检测方法，其特征是，包括以下步骤：步骤一，将绝对式光栅尺(3)安装在单轴直线运动平台(4)上，将单轴直线运动平台(4)固定在隔振平台(5)上，用千分表测量光栅尺的侧面与上端面，移动单轴直线运动平台，调整光栅尺使其符合阿贝原则及其安装要求；待系统稳定后，开始测量；步骤二，光栅尺(3)通过数据采集器(2)连到微机控制系统(1)上；微机控制系统(1)与控制器(6)相连，控制器(6)与单轴直线运动平台(4)上的滑块相连接，单轴直线运动平台开始高速度往复运动三次，然后光栅尺停止在任意一位置，记录当前位置值W1，系统断电后，等待30秒，再开电，重复操作再次读取当前位置值W2，共做三次实验，如果每次实验数据满足|W1‑W2|≤20μm条件，则判定光栅尺性能指标合格，如果不满足上述条件，则认为此光栅尺在高速下的可靠性存在问题。
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