[发明专利]制造压力传感器的方法有效
| 申请号： | 201410181643.0 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN104129751B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | P.D.史密斯;P.伦尼 | 申请（专利权）人： | 基德科技公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01L7/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马红梅;徐红燕 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种制造过热或火警探测系统的方法，包括以下步骤：微机械加工压力传感器，以及紧固传感器管使之与所述压力传感器流体连通。所述传感器管可包括含有在加热时释出气体的材料的中空管。所述微机械加工步骤可包括掺杂第一层的至少一部分、至少部分地在所述经掺杂部分内形成空腔，以及在所述空腔上形成可变形隔膜。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 压力传感器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造过热或火警探测系统的方法，包括以下步骤：微机械加工压力传感器；以及紧固传感器管使之与所述压力传感器流体连通；其中所述微机械加工步骤包括形成一个或多个层;其中所述微机械加工步骤包括掺杂所述一个或多个层的第一层的至少一部分且至少部分地在所述经掺杂部分内形成空腔;其中所述微机械加工步骤包括在所述空腔上形成可变形隔膜。
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