[发明专利]一种金硼合金靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201410164278.2 | 申请日： | 2014-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN103898460A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 操齐高;郑晶;姜婷;贾志华;马光;李银娥;张科 | 申请（专利权）人： | 西北有色金属研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710016*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金硼合金靶材的制备方法，包括以下步骤：一、将金粉与硼粉混合均匀后压制，得到粉末压坯；所述粉末压坯中硼的原子百分含量为20％～60％，余量为金；二、将粉末压坯进行两次真空电弧熔炼，得到锭坯；三、将锭坯破碎，然后对破碎后的锭坯进行高能球磨，得到金硼合金粉；四、将金硼合金粉进行真空热压烧结，得到金硼合金靶材。本发明制备方法简单易行，所制备的金硼合金靶材质量纯度高，杂质含量低，组分稳定，组织均匀，致密度高，满足高质量镀膜的使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金硼合金靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将金粉与硼粉混合均匀后置于油压机中，在压强为20MPa～30MPa的条件下压制1min～3min，得到粉末压坯；所述粉末压坯中硼的原子百分含量为20％～60％，余量为金；步骤二、利用非自耗真空电弧炉对步骤一中所述粉末压坯进行两次真空电弧熔炼，得到锭坯；两次所述真空电弧熔炼的真空度均不大于5.0×10‑3Pa；步骤三、将步骤二中所述锭坯破碎后置于高能球磨机中，在球磨速率为350r/min～450r/min的条件下高能球磨1.5h～2.5h，得到金硼合金粉；步骤四、利用真空热压烧结炉对步骤三中所述金硼合金粉进行真空热压烧结处理，自然冷却后得到金硼合金靶材；所述真空热压烧结处理的压强为60MPa～80MPa，所述真空热压烧结处理的温度为850℃～950℃，所述真空热压烧结处理的时间为10min～20min。
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