[发明专利]旋转密封边界膜膜厚测量方法有效
申请号: | 201410163033.8 | 申请日: | 2014-04-22 |
公开(公告)号: | CN103954243A | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 魏超;胡纪滨;薛冰 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G01B15/02 | 分类号: | G01B15/02 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 郭德忠;仇蕾安 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于厚度测量技术领域,具体涉及一种边界膜膜厚的测量方法。旋转密封边界膜膜厚测量方法,其技术方案是,测试所用的旋转密封件工作在含有添加剂的润滑油中,所以其表面会生成含有活性元素的边界膜,通过扫描式电子显微镜、射线光电子能谱仪测量活性元素在样品截断面的分布,即可测得膜厚。本发明原理简单,与其他测量固体不透明薄膜的方法相比省去了昂贵的探头的使用,节约了成本。 | ||
搜索关键词: | 旋转 密封 边界 膜膜厚 测量方法 | ||
【主权项】:
旋转密封边界膜膜厚测量方法,其特征在于,它通过在旋转密封件上截取的样品截面进行扫描,分析截面区域内活性元素的含量变化,获得边界膜膜厚。
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