[发明专利]一种纯Fe薄膜电催化剂的制备方法

摘要

本发明涉及一种纯Fe薄膜电催化剂的制备方法，通过射频磁控溅射法，在钛基底上沉积纯Fe薄膜，溅射气体的流量为20sccm(标准状态毫升每分)；然后利用高真空热处理炉在氩气下对沉积的薄膜进行700℃热处理以实现纯Fe薄膜催化剂的制备。该方法成本较低，操作简单，易于在工厂中实现。制备的纯Fe催化剂开启电位为-0.12V，极限电流密度为4.75mAcm^-2，在18000s的计时电流测试中比电流仍能保持63%；不会发生甲醇中毒。虽然其催化活性略逊于商业的Pt/C催化剂，但其稳定性可以和Pt/C催化剂媲美，其选择性胜于Pt/C催化剂，是一种性价比优良的非贵金属催化剂。

主权项

一种制备纯Fe薄膜电催化剂材料的方法，其特征在于：通过射频磁控溅射法在多晶钛基底材料上沉积纯Fe薄膜，并对纯Fe薄膜进行热处理获得纯Fe薄膜电催化剂，具体步骤包括：步骤A：将靶材和基底材料置于真空装置中，系统抽真空，待达到一定真空度，通入溅射气体；步骤B：利用射频磁控溅射沉积法，设定射频功率和溅射时间，最终在基底上沉积纯Fe薄膜；步骤C：将沉积纯Fe薄膜的基底放入高真空热处理炉中，通入保护气体，升温至预定反应温度时，保温一段时间，对纯Fe薄膜进行热处理；步骤D：热处理结束后，继续通保护气体，冷却至室温；可得纯Fe薄膜催化剂。