[发明专利]一种加速度计

摘要

本发明公开了一种加速度计，包括基片和固定在基片上的加速度计主体，而加速度主体包括若干并联的敏感单元，其中，敏感单元包括：质量块，其纵向两端通过弹性件与基片固接，弹性件设置在质量块的纵向两端，其第一端与基片固接；设置在质量块的一横向侧面的、与基片固接的第一固定座；设置在第一固定座与质量块之间的齿组，其包括固定于第一固定座的、沿横向延伸的、沿纵向彼此间隔的若干定齿和交错于若干定齿之间的、固定于质量块的若干动齿。本发明通过多个敏感单元并联提高了灵敏度和分辨率，通过变面积的电容变化方式改善了加速度全量程的非线性问题。

主权项

一种加速度计，包括基片和固定在所述基片上的加速度计主体，其特征在于，所述加速度主体包括若干并联的敏感单元，其中，所述敏感单元包括：质量块，其纵向两端通过弹性件与所述基片固接，所述弹性件设置在所述质量块的纵向两端，其第一端与所述基片固接；设置在所述质量块的一横向侧面的、与所述基片固接的第一固定座；设置在所述第一固定座与质量块之间的齿组，其包括：固定于所述第一固定座的、沿横向延伸的、沿纵向彼此间隔的若干定齿；交错于所述若干定齿之间的、固定于所述质量块的若干动齿；当加速度计具有加速度时，所述弹性件沿与加速度相反的方向产生形变，使得所述动齿与定齿之间的正对面积相应地增大或减小，导致所述动齿与定齿之间的电容随之相应地增大或减小，从而根据所述电容变化得到加速度；其中，所述弹性件包括沿横向方向并列排布的若干弹性片。