[发明专利]新型双Y波导集成光学器件及其制作方法在审
申请号: | 201410136408.1 | 申请日: | 2014-04-08 |
公开(公告)号: | CN103869414A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 华勇;张鸿举;杨千泽;刘隐;郑德晟 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
主分类号: | G02B6/125 | 分类号: | G02B6/125;G02B6/13 |
代理公司: | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人: | 侯懋琪;侯春乐 |
地址: | 400060 重庆*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明提供一种新型双Y波导集成光学器件及其制作方法,所述器件由两块芯片拼接而成,芯片上设置有Y型波导,Y型波导由直条段和分叉段组成,芯片上与直条段的外端面齐平的端面形成连接端,连接端的端面上涂覆有吸光材料层,吸光材料层所覆盖的区域中部设置有一裸露区,直条段的外端面位于裸露区范围内,两块芯片的连接端相互拼接在一起并通过波导耦合工艺固定,拼接后,两块芯片上的直条段同轴。本发明的有益技术效果是:可有效阻断辐射光在衬底中的传输,从而抑制寄生波的产生,减少光纤陀螺系统的参数漂移,提高器件性能。 | ||
搜索关键词: | 新型 波导 集成 光学 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种新型双Y波导集成光学器件,其特征在于:所述新型双Y波导集成光学器件由两块芯片(1)拼接而成;所述芯片(1)上设置有Y型波导;所述Y型波导由直条段(1‑1)和分叉段(1‑2)组成,芯片(1)上与直条段(1‑1)的外端面齐平的端面形成连接端;所述连接端的端面上涂覆有吸光材料层,吸光材料层所覆盖的区域中部设置有一裸露区,所述直条段(1‑1)的外端面位于裸露区范围内;两块芯片(1)的连接端相互拼接在一起并通过波导耦合工艺固定,拼接后,两块芯片(1)上的直条段(1‑1)同轴。
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