[发明专利]新型双Y波导集成光学器件及其制作方法

权利要求书

1.一种新型双Y波导集成光学器件，其特征在于：所述新型双Y波导集成光学器件由两块芯片（1）拼接而成；所述芯片（1）上设置有Y型波导；所述Y型波导由直条段（1-1）和分叉段（1-2）组成，芯片（1）上与直条段（1-1）的外端面齐平的端面形成连接端；所述连接端的端面上涂覆有吸光材料层，吸光材料层所覆盖的区域中部设置有一裸露区，所述直条段（1-1）的外端面位于裸露区范围内；两块芯片（1）的连接端相互拼接在一起并通过波导耦合工艺固定，拼接后，两块芯片（1）上的直条段（1-1）同轴。

2.根据权利要求1所述的新型双Y波导集成光学器件，其特征在于：两块芯片（1）中的其中一块芯片（1）上设置有调制电极（1-3）。

3.根据权利要求1所述的新型双Y波导集成光学器件，其特征在于：所述分叉段（1-2）的外端形成两个分叉端，两个分叉端上各连接有一导光光纤（1-4）。

4.根据权利要求1所述的新型双Y波导集成光学器件，其特征在于：所述吸光材料层采用铝、钛或其他吸光材料。

5.一种新型双Y波导集成光学器件的制作方法，其特征在于：其制作步骤为：

1）提供衬底；

2）在衬底上制作双Y型波导，获得双Y波导芯片；所述双Y型波导由两个分叉波导段和一个直波导段组成，两个分叉波导段分别位于直波导段的两端；

3）对双Y波导芯片进行切割，切割面与直波导段相交，获得两块芯片（1）；双Y型波导被切割后形成两个Y型波导，单个Y型波导由直条段（1-1）和分叉段（1-2）组成；芯片（1）上与直条段（1-1）的外端面齐平的端面形成连接端；

4）在两块芯片（1）的连接端端面上涂覆吸光材料；涂覆时，吸光材料仅将连接端端面部分覆盖，未被吸光材料覆盖的区域形成裸露区，直条段（1-1）的外端面位于裸露区范围内；

5）将两块芯片（1）的连接端拼接在一起，并采用波导耦合工艺将两块芯片（1）固定。