[发明专利]一种大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法无效
| 申请号： | 201410130482.2 | 申请日： | 2014-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN103909475A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 归欢焕;段金柱;潘振华;王勤峰;姚志炎;樊志远;庄林海 | 申请（专利权）人： | 天通控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/00 | 分类号： | B24C1/00 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 吴关炳 |
| 地址： | 314412 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法，将经双面研磨后的蓝宝石衬底片放入旋转加工台的工件位中，利用喷射处理装置将碳化硼粉末喷射到蓝宝石衬底片的加工面上以达到所需的粗糙度。其中工件位的孔深大于蓝宝石衬底片的厚度0.5mm～1mm；旋转加工台以逆时针方向旋转，转速在20rpm～50rpm；喷枪设置在90°、180°和270°三个位置，且分别以30～60次/min的速度来回移动；喷枪口径为10mm～20mm；喷枪喷射压力为0.12MPa～0.60MPa；碳化硼粉末为#120～#320。本发明优势主要面内粗糙度偏差小、稳定性高，可有效的避免背面不良问题，提高加工效率和降低加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 蓝宝石 衬底 背面 粗糙 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法，其特征在于，将经双面研磨后的蓝宝石衬底片放入旋转加工台的工件位中，利用喷射处理装置将碳化硼粉末喷射到蓝宝石衬底片的加工面上以达到所需的粗糙度，具体包括：⑴ 所述工件位的孔深大于蓝宝石衬底片的厚度0.5mm～1mm，以保证蓝宝石衬底片在被加工时的稳定性； ⑵ 旋转加工台以逆时针方向旋转，转速在20rpm～50rpm；⑶ 碳化硼粉末喷枪设置在90°、180°和270°三个位置，而且分别以30～60次/min的速度来回移动，以保证蓝宝石衬底片被加工面粗糙度的均一性；⑷ 碳化硼粉末喷枪的枪口口径为10mm～20mm；⑸ 碳化硼粉末喷枪的喷射压力为0.12 MPa～0.60MPa；⑹ 碳化硼粉末为#120～#320。
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