[发明专利]氮化镓电子器件的检测方法和系统有效
| 申请号： | 201410129768.9 | 申请日： | 2014-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN103884944B | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 曾畅;黄云;廖雪阳;李汝冠;来萍;恩云飞 | 申请（专利权）人： | 工业和信息化部电子第五研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 王程 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化镓电子器件的检测方法和系统，所述方法包括获取处于静态工作点的氮化镓电子器件在预设光束扫描下的漏极电流值和扫描位置，其中，所述扫描位置为所述预设光束在所述氮化镓电子器件上的投射位置，一个扫描位置对应一个漏极电流值；根据获取的漏极电流值和扫描位置，绘制漏极电流随所述扫描位置的变化图，并将绘制的变化图与所述氮化镓电子器件的光学显微图像进行叠加，生成叠加图像；根据所述叠加图像，获取所述氮化镓电子器件的陷阱缺陷位置信息。实施本发明的方法和系统，可获取陷阱缺陷在氮化镓电子器件的空间分布信息，进而可提供对器件进行筛选和失效分析的依据。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 电子器件 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种氮化镓电子器件的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：获取处于静态工作点的氮化镓电子器件在预设光束扫描下的漏极电流值和扫描位置，其中，所述扫描位置为所述预设光束在所述氮化镓电子器件上的投射位置，一个扫描位置对应一个漏极电流值；所述预设光束可为预设波长的激光束；根据获取的漏极电流值和扫描位置，绘制漏极电流随所述扫描位置的变化图，并将绘制的变化图与所述氮化镓电子器件的光学显微图像进行叠加，生成叠加图像；根据所述叠加图像，获取所述氮化镓电子器件的陷阱缺陷位置信息。
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