[发明专利]基于偏振态检测的双光纤耦合球微尺度传感器有效
| 申请号： | 201410118923.7 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103900469B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 崔继文;李俊英;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种基于偏振态检测的双光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、起偏器、半透半反棱镜、λ波片、由入射光纤、出射光纤、耦合球组成探针、偏振态检测装置和计算机，激光器、起偏器、半透半反棱镜、λ波片、探针依次排列，其中激光器出射光光轴与入射光纤入射光光轴重合，偏振态检测装置A位于出射光纤的出射光经半透半反棱镜反射后的反射光路光轴上，偏振态检测装置B位于激光器出射的光束经起偏器后第一次经半透半反棱镜反射的反射光路光轴上，当偏振态检测装置A检测到的光束的偏振态相对于偏振态检测装置B检测到的偏振态的差值发生变化时，探针与被测孔发生触测；本传感器精度高、速度快、具有三维测量能力。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 偏振 检测 光纤 耦合 尺度 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于偏振态检测的双光纤耦合球微尺度传感器，其特征在于：所述传感器包括激光器(1)、起偏器(2)、半透半反棱镜(3)、λ波片(4)、探针(5)、偏振态检测装置A(10)、偏振态检测装置B(11)、计算机(13)，所述探针(5)由入射光纤(6)、出射光纤(7)两根光纤和耦合球(8)组成，所述入射光纤(6)和出射光纤(7)的一端与耦合球(8)固定连接，耦合球(8)作为探针(5)的触点；激光器(1)、起偏器(2)、半透半反棱镜(3)、λ波片(4)、探针(5)依次排列，其中激光器(1)出射光光轴与入射光纤(6)入射光光轴重合，偏振态检测装置A(10)位于出射光纤(7)的出射光经半透半反棱镜(3)反射后的反射光路光轴A(12a)上，偏振态检测装置B(11)位于激光器(1)出射的光束经起偏器后第一次经半透半反棱镜(3)反射的反射光路光轴B(12b)上，通过数据线分别将偏振态检测装置A(10)和偏振态检测装置B(11)与计算机(13)相连，探针(5)置于被测孔(9)内；以所述偏振态检测装置B(11)检测到的光束的偏振态作为参考信号，以所述偏振态检测装置A(10)检测到的光束的偏振态作为检测信号，当检测信号的偏振态相对于参考信号的偏振态的差值发生变化时，探针(5)与被测孔(9)发生触测。
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