[发明专利]一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置有效
| 申请号： | 201410116780.6 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103913479A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 曾琪峰;杨帆;吴宏圣;牛文达;孙强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N25/16 | 分类号： | G01N25/16 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置，解决现有光栅测量技术中出现的热膨胀的问题，包括恒温装置、测长装置、光栅尺固定架及信号处理电路，其中，恒温装置包括温度测量元件，一温度控制元件。测长装置用于测量光栅尺读数头的经过温度修正的位置值，光栅尺固定架用于固定待测光栅尺，待测光栅尺是能够提供未经过温度补偿的位置读数的光栅尺，信号处理电路用于处理来自光栅尺和测长装置的长度信号，来自温度传感器的温度信号，进而得到该待测光栅尺的热膨胀系数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 光栅尺 热膨胀 系数 装置 | ||
【主权项】：
一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置，包括封闭式箱体（1），所述箱用于恒定箱体（1）内空气温度的恒温装置（2），用于测量待测光栅尺读数头位置的标准测长装置（3），用于测量待测光栅尺的主尺（5‑1）材料温度的第二温度测量元件（4）以及信号处理装置；其特征是，将待测光栅尺读数相同的点定位主尺（5‑1）上不同温度的同一待测点；标准测长装置测量待测光栅尺上不同待测点间的距离，所述信号处理装置（9）根据在不同的温度点上，标准测长装置（3）测量的测量点之间的距离和该距离在不同温度下的变化量计算该两个测量点之间光栅尺段的热膨胀系数。
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