[发明专利]一种微流道压力传感器有效
| 申请号： | 201410116547.8 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104949789B | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 桂林;牛波;高猛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微流道压力传感器，该传感器包括被测流体旁支微流道（1）、微小电容信号测量系统（2）、液态微电极流道（3）；被测流体旁支微流道（1）的微流道检测段（4）的两侧对称布置液态微电极流道（3），所述液态微电极流道（3）有液态微电极入口（5）和液态微电极出口（6）。所述两个液态微电极流道（3）均与所述微小电容信号测量系统（2）连接。本发明在微流道检测段（4）的两侧形成微电极，通过测量电容得到被测流体旁支微流道（1）内的压力变化，提高了测量精确度，降低了对液体流动的干扰，同时制作简单、价格低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微流道 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种微流道压力传感器，其特征在于，所述微流道压力传感器包括被测流体旁支微流道(1)、微小电容信号测量电路(2)、液态微电极流道(3)；其中所述被测流体旁支微流道(1)为流体流道(7)开出的旁支或为所述流体流道(7)；所述被测流体旁支微流道(1)有微流道检测段(4)；所述液态微电极流道(3)有液态微电极入口(5)和液态微电极出口(6)；所述微流道检测段(4)的两侧对称布置两个液态微电极流道(3)即第一液态微电极流道和第二液态微电极流道，所述微小电容信号测量电路(2)的一端连接所述第一液态微电极流道的液态微电极入口(5)和液态微电极出口(6)，其另一端连接第二液态微电极流道的液态微电极入口(5)和液态微电极出口(6)；所述被测流体旁支微流道(1)为流体流道(7)开出的旁支时，所述微流道检测段(4)位于所述被测流体旁支微流道(1)的远离所述流体流道(7)的一端；所述被测流体旁支微流道(1)为流体流道(7)时，所述微流道检测段(4)为所述流体流道(7)自身的一段流体流道。
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