[发明专利]一种多晶硅还原尾气回收利用的方法及系统

摘要

一种多晶硅还原尾气回收利用的方法及系统，涉及多晶硅生产技术领域，将还原尾气冷却后进行多次气液分离和换热，将换热后的氢气和氯化氢进入活性炭吸附柱（7）中将氯化氢吸附，剩余的氢气进入纯净氢气管道（5）回到生产系统循环使用，氯化氢由活性炭吸附柱（7）解析后通过再生气管道（6）氢化作为原料使用；本发明实现了系统内物料之间分阶段相互换热，充分利用系统本身能量，达到节能降耗目的。

主权项

一种多晶硅还原尾气回收利用的方法，所述还原尾气包括氯硅烷、氢气和氯化氢，其特征是：所述方法包括以下步骤：（1）第一次气液分离步骤：将还原尾气冷却后进行第一次气液分离，将分离后的气体进行第一次换热，冷凝下的液体进入冷凝液罐（3）后与进行换热的气体进行换热；（2）换热步骤：接上一步骤，换热后，冷凝下的液体通过冷凝液体管道（1）进入提纯系统循环利用，将气体进行第二次换热；（3）第二次气液分离步骤：接上一步骤，将换热后的气体进行第二次气液分离，将分离后的气体进行第三次换热冷却；（4）第三次气液分离步骤：接上一步骤，换热冷却后气体中的氯硅烷汇集到冷凝液罐（3），将气体中的氢气和氯化氢继续进行第四次换热；（5）吸附步骤：接上一步骤，换热后的氢气和氯化氢进入活性炭吸附柱（7）中将氯化氢吸附，剩余的氢气进入纯净氢气管道（5）回到生产系统循环使用，氯化氢由活性炭吸附柱（7）解析后通过再生气管道（6）氢化作为原料使用。