[发明专利]基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法有效
| 申请号： | 201410112151.6 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN104600162A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡卓然;高海;刘智;尹祥麟;刘正伟 | 申请（专利权）人： | 上海卓霖信息科技有限公司;江苏卓宁光电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 金碎平 |
| 地址： | 200083 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法，包括如下步骤：a）采用LAO衬底，选取晶体取向，并对LAO衬底进行表面清洁处理；b）对LAO衬底进行退火处理，并在LAO衬底表面形成AlN籽晶层；c）在LAO衬底上采用金属有机化合物化学气相淀积依次形成非极性m面GaN缓冲层、非极性非掺杂u-GaN层、非极性n型掺杂GaN薄膜、非极性InGaN/GaN量子阱、非极性m面AlGaN电子阻挡层和非极性p型掺杂GaN薄膜。本发明提供的基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法，具有缺陷密度低、结晶质量好，发光性能好的优点，且制备成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 lao 衬底 极性 led 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片，包括衬底，其特征在于，所述衬底为LAO衬底，所述LAO衬底上依次设置有缓冲层、第一非掺杂层、第一掺杂层、量子阱层、电子阻挡层和第二掺杂层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海卓霖信息科技有限公司;江苏卓宁光电子有限公司;，未经上海卓霖信息科技有限公司;江苏卓宁光电子有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410112151.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：发光二极管装置
- 下一篇：一种利用AAO模板制备复合纳米图形化衬底的方法
